[发明专利]精细图案的制作装置有效
| 申请号： | 200510132959.1 | 申请日： | 2005-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1831645A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | 李永哲;朴庸硕;许经宪;周莲 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄威;张金海 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 精细 图案 制作 装置 | ||
【说明书】：
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