[发明专利]干涉条纹自动对焦与自动检测方法有效
| 申请号： | 200510137455.9 | 申请日： | 2005-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1991341A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 陈金亮;高清芬;张中柱 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/45 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡光星 |
| 地址： | 台湾省新竹县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 干涉 条纹 自动 对焦 自动检测 方法 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院，未经财团法人工业技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200510137455.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：进行试验为多项式的统计测试的方法
- 下一篇：抛光工艺的控制方法
