[发明专利]采用浸渍溶剂的抗蚀剂组合物评价方法有效
| 申请号： | 200510137592.2 | 申请日： | 2004-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN1800846A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | 平山拓;羽田英夫;藤村悟史;岩井武;佐藤充;高须亮一;立川俊和;岩下淳;石塚启太;山田知孝;高山寿一;吉田正昭 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈长会 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 浸渍 溶剂 抗蚀剂 组合 评价 方法 | ||
【权利要求书】：
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