[实用新型]大面积平板常压射频冷等离子体放电装置无效
| 申请号： | 200520001474.4 | 申请日： | 2005-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN2870385Y | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 王守国;赵玲利 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30;H05H1/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大面积 平板 常压 射频 等离子体 放电 装置 | ||
【说明书】：
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