[实用新型]电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置无效
| 申请号： | 200520001647.2 | 申请日： | 2005-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN2785105Y | 公开（公告）日： | 2006-05-31 |
| 发明（设计）人： | 申浩南 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01F5/00 | 分类号： | H01F5/00;H01F38/14;H05H1/46;H05H1/50;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 线圈 及其 等离子体 装置 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200520001647.2/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种数控内膛拉削机床
- 下一篇：电机的速度控制装置及方法
