[实用新型]抗高过载SOI压力敏感芯片的结构无效
| 申请号： | 200520021822.4 | 申请日： | 2005-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN2888651Y | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 王伟;吴亚林;张彤;迟晓珠;张精华 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨市东北汽车电子工程技术研究开发中心 |
| 主分类号： | H01L29/84 | 分类号： | H01L29/84;B81B7/02;G01L1/18 |
| 代理公司： | 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 祖玉清 |
| 地址： | 150001黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 过载 soi 压力 敏感 芯片 结构 | ||
【权利要求书】：
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