[实用新型]计算机控制镀膜装置无效
| 申请号： | 200520042282.8 | 申请日： | 2005-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN2823273Y | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 朱美萍;易葵;郭世海;贺洪波;邵建达;范瑞瑛;范正修;齐红基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 计算机控制 镀膜 装置 | ||
【说明书】：
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