[实用新型]一种铟钨金属镶嵌靶无效
| 申请号： | 200520043480.6 | 申请日： | 2005-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN2908530Y | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 张群;章壮健;李喜峰;缪维娜;黄丽 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 姚静芳 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属 镶嵌 | ||
【权利要求书】：
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