[实用新型]微器件表面形貌的微、纳米测量装置无效
| 申请号： | 200520069706.X | 申请日： | 2005-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN2779383Y | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 范光照;陈叶金;赵静;刘玉圣 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01N13/00 | 分类号： | G01N13/00;G01N21/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 器件 表面 形貌 纳米 测量 装置 | ||
【说明书】：
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