[实用新型]置于真空室和分子泵、油封机械泵间的半导体冷阱装置无效
| 申请号： | 200520078816.2 | 申请日： | 2005-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN2813046Y | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | 游志明;马向利;聂增森;牛志伟;郝超英;杨晓天 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | B01D8/00 | 分类号： | B01D8/00;F04B37/08 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人： | 马正良 |
| 地址： | 730000*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 置于 真空 分子 机械 半导体 装置 | ||
【说明书】：
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