[实用新型]一种感应加热封装键合装置无效
申请号: | 200520095989.5 | 申请日: | 2005-04-15 |
公开(公告)号: | CN2780733Y | 公开(公告)日: | 2006-05-17 |
发明(设计)人: | 陈明祥;易新建;刘胜;甘志银 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | B81C5/00 | 分类号: | B81C5/00;H01L21/56;H05B6/02 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 | 代理人: | 曹葆青 |
地址: | 430074湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 感应 加热 封装 装置 | ||
【说明书】:
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