[实用新型]一种用于电化学机械抛光的抛光部件无效
| 申请号： | 200520103674.0 | 申请日： | 2003-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN2796944Y | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | P·D·巴特菲尔德;L-Y·陈;Y·胡;A·P·曼那斯;R·马伍利乌;S·D·蔡;F·Q·刘;R·威登斯维勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电化学 机械抛光 抛光 部件 | ||
【说明书】：
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