[实用新型]一种旋转式圆柱磁控溅射靶无效
| 申请号： | 200520109094.2 | 申请日： | 2005-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN2866521Y | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 韩成明;孙海中;陈端学 | 申请（专利权）人： | 北京清华阳光能源开发有限责任公司;北京清华阳光太阳能设备有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 胡兰芝 |
| 地址： | 100085北京市海淀区上*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 圆柱 磁控溅射 | ||
【权利要求书】：
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