[实用新型]压容式传感器无效
| 申请号： | 200520116497.X | 申请日： | 2005-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN2870174Y | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 陈旭远;赵玉成 | 申请（专利权）人： | 杭州科岛微电子有限公司;厦门大学萨本栋微机电研究中心 |
| 主分类号： | H01L29/84 | 分类号： | H01L29/84;G01L9/12;G01L1/14;B60C23/00 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 | 代理人： | 梁寅春 |
| 地址： | 310021浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压容式 传感器 | ||
【说明书】：
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