[实用新型]离子注入机非均匀磁场边缘特性校正器无效
| 申请号： | 200520142504.3 | 申请日： | 2005-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN2906907Y | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;郭健辉;彭立波;王迪平;孙勇;许波涛;易文杰;姚志丹;孙雪平;谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 注入 均匀 磁场 边缘 特性 校正 | ||
【权利要求书】：
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