[发明专利]纯化含有氢化合物的四氯化硅或四氯化锗的方法和装置有效
申请号: | 200580000929.3 | 申请日: | 2005-06-10 |
公开(公告)号: | CN1842491A | 公开(公告)日: | 2006-10-04 |
发明(设计)人: | H·-P·波普;R·尼科莱;H·劳勒德;J·朗 | 申请(专利权)人: | 德古萨公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107;C01G17/04;B01J19/08 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 范赤;赵苏林 |
地址: | 德国杜*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纯化 含有 氢化 氯化 方法 装置 | ||
【权利要求书】:
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