[发明专利]氧化形式的金属的化学机械抛光有效
| 申请号： | 200580001954.3 | 申请日： | 2005-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN1906262A | 公开（公告）日： | 2007-01-31 |
| 发明（设计）人： | 弗朗西斯科·德里格蒂索罗;弗拉斯塔·布鲁西克;本杰明·P·拜尔 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/321;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化 形式 金属 化学 机械抛光 | ||
【说明书】：
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