[发明专利]投射电子显微镜、电子显微镜、样品表面观察法和微器件制造法无效
| 申请号： | 200580002507.X | 申请日： | 2005-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1910725A | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 兼松惠理 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康;株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | H01J37/29 | 分类号： | H01J37/29;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 车文;张文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 投射 电子显微镜 样品 表面 观察法 器件 制造 | ||
【权利要求书】：
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