[发明专利]使用可去除硬掩模制造光罩的方法无效
| 申请号： | 200580003453.9 | 申请日： | 2005-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN1914562A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 克里斯多佛·丹尼斯·本彻尔;梅尔文·沃伦·蒙哥马利;亚历山大·布克斯巴姆;扬－和·伊薇特·李;丁健;吉拉德·阿尔默吉;温迪·H·叶 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 去除 硬掩模 制造 方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200580003453.9/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：臭氧气体敏感元件
- 下一篇：一种硒化锌多晶纳米薄膜的制备方法
