[发明专利]由单步金属有机化学气相沉积制造的掩埋式异质结构器件无效

专利信息
申请号: 200580006102.3 申请日: 2005-02-24
公开(公告)号: CN1922518A 公开(公告)日: 2007-02-28
发明(设计)人: 大卫·P·鲍尔;斯科特·W·库兹纳 申请(专利权)人: 安华高科技光纤IP(新加坡)私人有限公司
主分类号: G02B6/10 分类号: G02B6/10
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人: 赵飞
地址: 新加坡*** 国省代码: 新加坡;SG
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摘要:
搜索关键词: 金属 有机化学 沉积 制造 掩埋 式异质 结构 器件
【权利要求书】:
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