[发明专利]脆性基板的垂直裂痕形成方法及垂直裂痕形成装置无效
申请号: | 200580007434.3 | 申请日: | 2005-04-27 |
公开(公告)号: | CN1929978A | 公开(公告)日: | 2007-03-14 |
发明(设计)人: | 羽阪登;熊谷透;山本幸司 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B23K26/40;C03B33/09;H01L21/301 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 脆性 垂直 裂痕 形成 方法 装置 | ||
【权利要求书】:
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