[发明专利]控制远程区域中压力的系统和方法有效
申请号: | 200580007455.5 | 申请日: | 2005-02-01 |
公开(公告)号: | CN1930413A | 公开(公告)日: | 2007-03-14 |
发明(设计)人: | 阿里·沙吉;西达尔斯·纳加尔卡蒂 | 申请(专利权)人: | MKS仪器公司 |
主分类号: | F16K31/12 | 分类号: | F16K31/12;F16K31/36 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 韩宏 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 控制 远程 区域 压力 系统 方法 | ||
【说明书】:
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