[发明专利]气体制造设备、气体供给容器及电子器件制造用气体无效
| 申请号： | 200580007844.8 | 申请日： | 2005-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN1930415A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 大见忠弘;白井泰雪;加藤丈佳;田中公章;中村昌洋;田中克知 | 申请（专利权）人： | 大见忠弘;日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | F17C1/10 | 分类号： | F17C1/10;C23C4/10;C23C8/16;C23C8/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 孙秀武;吴娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 制造 设备 供给 容器 电子器件 | ||
【说明书】：
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