[发明专利]包含疏水区及终点检测口的抛光垫有效
| 申请号： | 200580008353.5 | 申请日： | 2005-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN1933939A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 阿巴尼什沃·普拉萨德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24D13/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 包含 疏水 终点 检测 抛光 | ||
【权利要求书】：
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