[发明专利]永久抗蚀剂组合物、其固化产物及其用途无效
| 申请号： | 200580008836.5 | 申请日： | 2005-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN1934498A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | W·韦伯;森哲;本田那央;D·约翰逊;M·多坎托 | 申请（专利权）人： | 微量化学公司;日本化药株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 永久 抗蚀剂 组合 固化 产物 及其 用途 | ||
【权利要求书】：
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