[发明专利]固相熔剂外延生长法无效
| 申请号： | 200580009225.2 | 申请日： | 2005-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN1934294A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 鲤沼秀臣;松本祐司;高桥龙太 | 申请（专利权）人： | 独立行政法人科学技术振兴机构 |
| 主分类号： | C30B3/00 | 分类号： | C30B3/00;C30B29/22;C30B29/30;C30B29/32;H01L21/316;H01L27/105 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 熔剂 外延 生长 | ||
【说明书】：
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