[发明专利]间苯二酚杯芳烃化合物、光致抗蚀剂基材及其组合物无效
| 申请号： | 200580010812.3 | 申请日： | 2005-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN1938259A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 石井宏寿;大和田贵纪;芝崎祐二;上田充 | 申请（专利权）人： | 出光兴产株式会社 |
| 主分类号： | C07C67/31 | 分类号： | C07C67/31;C07C69/712;G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 间苯二酚杯 芳烃 化合物 光致抗蚀剂 基材 及其 组合 | ||
【权利要求书】：
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