[发明专利]具有整体集成压力传感器的微缝隙式粘度计

权利要求书

1.一种用于确定液体粘度的缝隙流变计，所述缝隙流变计包括：

包含三个侧壁的具有至少一条流道的通道基板、至少一个流入口和至少一个流出口；

具有至少两个独立压力传感器的整体式传感器板，所述至少两个独立压力传感器沿纵向位于所述至少一条流道的每条流道中充分远离所述入口和出口的两个不同位置处以使得可测量完全展开流的压力降；

所述通道基板和所述传感器板被组合在一起以使得所述传感器板表面成为侧壁，所述侧壁使得能够在所述液体沿除液体入口和出口区域的所述通道流动的过程中与所述液体的所述通道基板的所述三个侧壁一起被完全包含。

2.根据权利要求1所述的缝隙流变计，附加地包括使液体受力以已知的体积流速流动通过通道的装置。

3.根据权利要求1所述的缝隙流变计，其中所述流道具有一定宽度和深度且其中所述流道的所述宽度比所述至少一条流道的每条流道中所述流道的所述深度大至少约10倍。

4.根据权利要求1所述的缝隙流变计，其中所述传感器板具有用于所述至少一条流道的每条流道的至少一个温度传感器，所述温度传感器被设置以测量流动通过所述流道的所述液体的温度。

5.根据权利要求1所述的缝隙流变计，其中存在串联连接的至少两条流道。

6.根据权利要求5所述的缝隙流变计，其中所述至少两条流道的通道深度不同。

7.根据权利要求1所述的缝隙流变计，其中所述至少两条流道的通道宽度不同。

8.根据权利要求1所述的缝隙流变计，其中存在平行的至少两条通道。

9.根据权利要求1所述的缝隙流变计，其中所述至少一条通道的深度处于微米数量级。

10.根据权利要求9所述的缝隙流变计，其中所述至少一条通道的宽度为至少约10微米。

11.根据权利要求10所述的缝隙流变计，其中所述至少一条通道具有至少约100微米的长度。

12.根据权利要求1所述的缝隙流变计，其中所述压力传感器是电容压力传感器。

13.一种缝隙流变计，所述缝隙流变计包括：

本体；

所述本体中的多个凹部，每个所述凹部具有不同尺寸且被串联连接在一起以形成通过所述本体的流道；和

与每个凹部相关联以指示由流动通过所述凹部的液体在与所述凹部相关联的每个所述压力传感器的位置处施加在所述凹部上的压力的多个压力传感器。

14.根据权利要求13所述的缝隙流变计，其中存在至少两个凹部。

15.根据权利要求13所述的缝隙流变计，其中存在与每个凹部相关联的至少两个压力传感器。

16.根据权利要求13所述的缝隙流变计，其中所述凹部分别具有不同深度。

17.根据权利要求13所述的缝隙流变计，其中所述凹部分别具有不同宽度。

18.一种制造缝隙流变计的方法，所述方法包括：

在微制造晶片中蚀刻出至少两个空腔；

使所述蚀刻的微制造晶片与基板组合在一起以形成压力传感器板，所述压力传感器板具有在所述空腔中形成的压力传感器；并且

使所述压力传感器板与另一块基板组合在一起以形成流道，液体可流动通过所述流道，所述流道在所述压力传感器板中的所述压力传感器上通过。

19.根据权利要求18所述的制造缝隙流变计的方法，其中利用化学蚀刻工艺蚀刻出所述至少两个井部。

20.根据权利要求18所述的制造缝隙流变计的方法，其中利用等离子体蚀刻工艺蚀刻出所速至少两个井部。

21.根据权利要求18所述的制造缝隙流变计的方法，其中利用化学蚀刻工艺和等离子体蚀刻工艺的组合工艺蚀刻出所述至少两个井部。

22.根据权利要求18所述的制造缝隙流变计的方法，其中所述压力传感器是电容型传感器。

23.根据权利要求18所述的制造缝隙流变计的方法，其中所述压力传感器是压阻型传感器。