[发明专利]形成具有可控和新型微观结构的α和β钽薄膜的方法无效
| 申请号： | 200580016063.5 | 申请日： | 2005-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN1984839A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | J·纳拉彦;P·库马;吴荣祯 | 申请（专利权）人： | H.C.施塔克公司;北卡罗莱纳州立大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;C23C14/16;C23C16/06;C23C14/54;C30B23/00;C30B29/02;C30B25/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 段晓玲 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 形成 具有 可控 新型 微观 结构 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于H.C.施塔克公司;北卡罗莱纳州立大学，未经H.C.施塔克公司;北卡罗莱纳州立大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200580016063.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
