[发明专利]成膜装置以及成膜方法有效
| 申请号： | 200580016473.X | 申请日： | 2005-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1957106A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 谷典明;森中泰三;铃木寿弘;松本昌弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;G02B5/30;H01L21/285 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 曲瑞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 以及 方法 | ||
【权利要求书】：
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