[发明专利]等离子体处理的方法和装置无效
| 申请号： | 200580016941.3 | 申请日： | 2005-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1957104A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 乔则夫·布卡 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李剑 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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