[发明专利]用反射或透射红外光来检查微结构的设备和方法无效
| 申请号： | 200580017989.6 | 申请日： | 2005-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN101019061A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 威·葛瑞夫;蓝伯特·丹纳 | 申请（专利权）人： | 比斯泰克半导体系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/08 | 分类号： | G02B21/08;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 德国维*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射 透射 红外光 检查 微结构 设备 方法 | ||
【说明书】：
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