[发明专利]用于改进显微蚀刻的对齐和覆盖的系统和方法

权利要求书

1.一种用于确定布图器件最小化其上所记录的图案与参考图案之间的尺寸变 化所用的变形参数的方法，所述方法包括：

比较所述记录图案的特征相对于所述参考图案的相应特征之间的空间变化； 以及

确定施加于所述布图器件以减小所述尺寸变化的变形力，其中所述力具有预 定的限制。

2.如权利要求所述的方法，其特征在于，所述限制包括在所述变形力中略去 张力。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述限制包括略去会减弱所述布 图器件的结构完整性的高幅度力。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，确定还包括确定受限力矢量，且 所述变形力根据所述受限力矢量来确定。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，确定还包括最小化覆盖误差的最 大绝对值的幅度。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，确定还包括确定施加于所述布图 器件以减小所述尺寸变化的压缩变形力。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，确定还包括确定施加于所述布图 器件的多对所述变形力，还包括将所述多对变形力施加于所述布图器件，且所述多 对变形力的各个力具有相同的幅度和方向，且所述一对力之一的方向与关联于所述 一对力的另一个力的方向相反。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，比较还包括将所述布图器件上的 覆盖特征与关联于将所述图案写在所述布图器件上的计算机数据的相应覆盖特征 作比较。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，确定还包括最小化覆盖误差的最 大绝对值的幅度，并识别全局最小值。

10.一种用于确定布图器件最小化其上所记录的图案与参考图案之间的尺寸 变化所用的变形参数的方法，所述方法包括：

比较所述记录图案的特征相对于所述参考图案的相应特征之间的空间变化；

以及

确定施加于所述布图器件以减小所述尺寸变化的变形力，且全部所述变形力 是施加于所述布图器件的压缩力。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，确定还包括确定所述变形力使 全部所述变形力具有与其相关联的、低于预定阈值的幅度。

12.如权利要求10所述的方法，其特征在于，确定还包括最小化覆盖误差的 最大绝对值的幅度。

13.如权利要求10所述的方法，其特征在于，确定还包括确定施加于所述布 图器件的多对所述变形力，还包括将多对所述变形力对施加于所述布图器件，所述 多对变形力的各个力具有相同的幅度和方向，且所述一对力之一的方向与关联于所 述一对力的另一个力的方向相反。

14.如权利要求10所述的方法，其特征在于，比较还包括将所述布图器件上 的覆盖特征相对于关联于用于将所述图案写在所述布图器件上的计算机数据的相 应覆盖特征作比较。

15.如权利要求10所述的方法，其特征在于，确定还包括最小化覆盖误差的 最大绝对值的幅度，并识别全局最小值。

16.一种用于确定布图器件最小化其上所记录的图案与参考图案之间尺寸变 化所用的变形参数的系统，所述方法包括：

用于比较所述记录图案的特征相对于所述参考图案的相应特征之间的空间变 化的装置；以及

用于确定施加于所述布图器件以减小所述尺寸变化的变形力、且全部所述变 形力是施加于所述布图器件的压缩力的装置。

17.如权利要求16所述的系统，其特征在于，用于确定的装置还包括用于确 定所述变形力使全部所述变形力具有小于预定阈值的与其相关联的幅度的装置。

18.如权利要求16所述的系统，其特征在于，用于确定的装置还包括用于最 小化覆盖误差的最大绝对值的幅度的装置。

19.如权利要求16所述的系统，其特征在于，确定还包括用于确定施加于所 述布图器件的多对所述变形力的装置，还包括用于将多对所述变形力对施加于所述 布图器件，所述多对变形力的各个力具有相同幅度和方向，且所述一对力之一的方 向与关联于所述一对力的另一个力的方向相反的装置。