[发明专利]反射折射投影物镜有效
| 申请号： | 200580018858.X | 申请日： | 2005-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN1965259A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | A·埃普勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G02B17/08 | 分类号： | G02B17/08;G02B17/06;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘红;魏军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射 折射 投影 物镜 | ||
【权利要求书】：
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