[发明专利]采用负性光刻胶组合物形成电镀产品的方法以及在该方法中使用的光敏组合物有效
| 申请号： | 200580019167.1 | 申请日： | 2005-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN1969231A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 增田靖男;鹫尾泰史;斋藤宏二 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/095;H01L21/48;H05K3/46 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈长会 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 光刻 组合 形成 电镀 产品 方法 以及 使用 光敏 | ||
【说明书】：
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