[发明专利]电子束绘制装置无效
| 申请号： | 200580020456.3 | 申请日： | 2005-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN1981243A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 北原弘昭 | 申请（专利权）人： | 日本先锋公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G11B5/84;G11B7/24;H01J37/305 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙志湧;陆锦华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束 绘制 装置 | ||
【说明书】：
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