[发明专利]阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,使用该组合物的微细结构构件以及微细结构构件的制造方法有效

专利信息
申请号: 200580021433.4 申请日: 2005-06-24
公开(公告)号: CN101103311A 公开(公告)日: 2008-01-09
发明(设计)人: 芝昭二;服田麻纪;桧野悦子;石仓宏惠 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: G03F7/038 分类号: G03F7/038;G03F7/004;C08L63/00;C08G59/00;C08G59/18
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 陈昕
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 阳离子 可光致 聚合 环氧树脂 组合 使用 微细 结构 构件 以及 制造 方法
【权利要求书】:

1.阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,包含:

环氧树脂;

阳离子光致聚合引发剂;

阳离子聚合的抑制剂;和

具有氟代烷基基团并且在其末端还具有取代基的化合物,其中该取代基允许与该环氧树脂的环氧基发生交联反应,

其中该阳离子可光致聚合环氧树脂组合物还包括热阳离子聚合催化剂。

2.根据权利要求1的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于该环氧树脂是具有氧环己烷骨架的多官能化环氧树脂。

3.根据权利要求2的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于该环氧树脂具有由通式1或通式2表示的结构。

通式1

(在该通式中,n表示正整数)

通式2

(在该通式中,m表示正整数)

4.根据权利要求1的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于该环氧树脂具有2000或更低的环氧当量。

5.根据权利要求4的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于该环氧树脂是在常温下是固体物质。

6.根据权利要求1的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于该阳离子光致聚合引发剂是至少一种选自芳族锍盐和芳族碘盐的材料。

7.根据权利要求1的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于该阳离子聚合抑制剂是具有非共价电子对的碱性物质。

8.根据权利要求7的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于该阳离子聚合抑制剂是具有非共价电子对的含氮的碱性物质。

9.根据权利要求8的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于该阳离子聚合抑制剂是胺化合物。

10.根据权利要求9的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于该阳离子聚合抑制剂是叔胺化合物。

11.根据权利要求1的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于相对于该阳离子光致聚合引发剂,以0.1wt%到20wt%包含该阳离子聚合抑制剂。

12.根据权利要求1的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于该具有氟代烷基基团以及在其末端具有取代基的且其中该取代基允许与环氧基发生交联反应的化合物是具有两个或两个以上羟基基团作为交联基团的化合物。

13.根据权利要求1的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于相对于该环氧树脂,将该具有氟代烷基基团并且在其末端具有取代基的且该取代基允许与环氧基发生交联反应的化合物的添加量设置在1wt%到50wt%范围内。

14.根据权利要求1的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于该热阳离子聚合催化剂是三氟甲磺酸铜。

15.根据权利要求1的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物,其特征在于相对于该阳离子光致聚合引发剂,以0.01wt%到50wt%的量包含该热阳离子聚合催化剂。

16.在基材上形成的微细结构构件,其作为根据权利要求1的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物的固化物来制备。

17.在基材上形成的微细结构构件的制造方法,包括以下步骤:

将根据权利要求1的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物溶剂涂覆在该基材上;

通过光刻方法使该阳离子可光致聚合环氧树脂组合物图形化;和

在150℃的温度下,在已被图形化的阳离子可光致聚合环氧树脂组合物上进行热加工以致热聚合。

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