[发明专利]薄膜保持装置无效
| 申请号： | 200580021503.6 | 申请日： | 2005-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN1977065A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 山田秀夫;石田毅;市川努 | 申请（专利权）人： | 日本先锋公司 |
| 主分类号： | C23C14/20 | 分类号： | C23C14/20;C23C14/24;H05B33/10;H05B33/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 保持 装置 | ||
【说明书】：
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