[发明专利]通过将等离子体中的电弧电流早期分流而快速灭弧的设备和方法

权利要求书

1、用于直流等离子体工艺的设备，包括：

a)用于等离子体处理的腔，具有包括在其中的至少两个电极；

b)具有输出电感和输出电容的电源，用于向所述电极提供电压以点燃等离子体并输送能量；

c)连接到该电感的分流开关，以在电弧产生时从该等离子体分流电流；以及

d)连接到该分流开关的输出端的阻塞二极管，用以隔离该输出电容和该分流开关。

2、如权利要求1所述的用于直流等离子体工艺的设备，其中，在检测到所述电弧后激活所述分流开关，并且所述分流开关将所述电流分流第一预定时间间隔。

3、如权利要求2所述的用于直流等离子体工艺的设备，其中，在所述等离子体中的电流到达零之前所述第一预定时间间隔结束时，切断所述分流开关，其中电流从所述电源重新引向所述等离子体。

4、如权利要求3所述的用于直流等离子体工艺的设备，其中，如果所述电弧没有熄灭，则在第二预定时间间隔结束时重新激活所述分流开关。

5、用于直流等离子体工艺的设备，包括：

a)用于等离子体处理的腔，具有包括在其中的至少两个电极；

b)电源，用于向所述电极提供电压以点燃等离子体并输送能量；

c)和该电源的输出电容并联的分流开关，用于在电弧产生时从该等离子体分流电流；以及

d)与该分流开关串联的直流源，其中该直流源提供用于将该电流更快地拉至更低以熄灭该电弧的电压。

6、如权利要求5所述的用于直流等离子体工艺的设备，其中，一二极管和所述分流开关串联连接，使得在所述分流开关分流电流时，所述二极管正向偏置。

7、如权利要求6所述的用于直流等离子体工艺的设备，其中所述分流开关的激活发生在检测到所述电弧后，而且所述分流开关将所述电流分流第一预定时间。

8、如权利要求7所述的用于直流等离子体工艺的设备，其中所述等离子体的电流到达零之前所述第一预定时间间隔结束时，切断所述分流开关，其中电流从所述电源重新引向所述等离子体。

9、如权利要求8所述的用于直流等离子体工艺的设备，其中，如果所述电弧没有熄灭，则在第二预定时间结束时重新激活所述分流开关。

10、一种操作直流等离子体工艺的方法，包括下列步骤：

a)向等离子体腔中的电极提供电压以点燃等离子体并输送能量；

b)在电弧产生时从该等离子体分流电流一第一预定时间间隔；

c)在该等离子体电流到达零之前、该第一预定时间间隔结束时，切断该分流的电流，其中电流重新流向该等离子体；以及

d)如果该电弧没有熄灭，则在第二预定时间结束时重新激活该电流的分流。