[发明专利]用于纳米级制造的顺从装置

权利要求书

1.一种顺从装置，包括：

支撑体；

浮体；以及

多个弯曲臂，每一个弯曲臂连接于所述支撑体和所述浮体之间，以在所述支撑体之间平行于所述多个弯曲臂的其余弯曲臂传递负载。

2.如权利要求1所述的顺从装置，其特征在于，所述多个弯曲臂的一子组弯曲臂各自具有第一组和第二组弯曲接合点，所述第一组弯曲接合点有助于所述弯曲臂围绕第一轴线的旋转运动，而所述第二组弯曲接合点被布置成有助于所述弯曲臂围绕第二轴线旋转运动。

3.如权利要求1所述的顺从装置，其特征在于，所述多个弯曲构件耦合于所述支撑体和所述浮体之间，以有助于所述浮体和所述支撑体之间围绕相交于一点的两根横向延伸的轴线的相对旋转运动。

4.如权利要求1所述的顺从装置，其特征在于，所述多个弯曲构件耦合于所述支撑体和所述浮体之间，以有助于所述浮体和所述支撑体之间围绕相交于一点的两根横向延伸的轴线的相对旋转运动，围绕所述两根横向延伸轴线中的一根的运动与围绕所述两个横向延伸轴的另一根轴线的运动脱离。

5.如权利要求1所述的顺从装置，其特征在于，所述多个弯曲构件耦合于所述支撑体和所述浮体之间，以有助于所述浮体和所述支撑体之间围绕相交于一点的两根横向延伸的轴线的相对旋转运动，同时使所述支撑体和所述浮体之间的相对平移运动最小化。

6.如权利要求1所述的顺从装置，其特征在于，所述多个弯曲臂的一子组弯曲臂各自具有两组旋转接合点，所述旋转接合点被布置成有助于所述弯曲臂围绕两根横向轴线的旋转运动。

7.如权利要求1所述的顺从装置，其特征在于，所述支撑体、所述浮体和所述多个弯曲臂是整体形成的。

8.如权利要求1所述的顺从装置，其特征在于，将所述多个弯曲臂耦合起来，以使在所述支撑体和所述浮体之间传递的所有负载平行地进行。

9.如权利要求1所述的顺从装置，其特征在于，所述浮体包括孔，所述多个弯曲臂中的每一个的一端耦合到所述孔外的所述浮体。

10.如权利要求1所述的顺从装置，其特征在于，所述支撑体包括通路，所述多个弯曲臂的第二端耦合到所述通路外的支撑体。

11.如权利要求1所述的顺从装置，其特征在于，还包括被耦合的执行系统，以有助于所述支撑体和所述浮体之间的角运动和平移运动。

12.一种顺从装置，包括：

支撑体；

浮体；以及

多个弯曲臂，将每一个弯曲臂都耦合起来，以允许所述支撑体和所述浮体之间围绕第一轴线组和第二轴线组的旋转运动，第一轴线组横过第二轴线组延伸。

13.如权利要求12所述的顺从装置，其特征在于，所述多个弯曲臂由耦合于所述浮体和所述支撑体之间的四个弯曲臂组成，以有助于围绕一个点的旋转运动同时使沿预定的一组轴线的平移运动最小化。

14.如权利要求12所述的顺从装置，其特征在于，所述多个弯曲臂耦合于所述浮体和所述支撑体之间，以有助于围绕从所述支撑体和所述浮体两者间隔开的点的旋转运动，同时使所述浮体沿预定轴线的平移运动最小化。

15.如权利要求12所述的顺从装置，其特征在于，所述多个弯曲构件耦合于所述支撑体和所述浮体之间，以有助于所述浮体和所述支撑体之间围绕相交于一点的两根横向延伸的轴线的相对旋转运动。

16.如权利要求12所述的顺从装置，其特征在于，所述多个弯曲构件耦合于所述支撑体和所述浮体之间，以有助于所述浮体和所述支撑体之间围绕相交于一点的两根横向延伸的轴线的相对旋转运动，围绕所述两根横向延伸轴线中的一根的运动与围绕所述两个横向延伸轴的另一根轴线的运动脱离。

17.如权利要求12所述的顺从装置，其特征在于，所述多个弯曲构件耦合于所述支撑体和所述浮体之间，以有助于所述浮体和所述支撑体之间围绕相交于一点的两根横向延伸的轴线的相对旋转运动，同时使所述支撑体和所述浮体之间的相对平移运动最小化。