[发明专利]基板处理装置和安装器有效
| 申请号： | 200580022997.X | 申请日： | 2005-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN1981567A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 村田崇彦;辻慎治郎;小田原広造;片野良一郎 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H05K13/00 | 分类号： | H05K13/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 装置 安装 | ||
【说明书】：
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