[发明专利]劈割脆性材料的方法和装置

权利要求书

1.一种劈割脆性材料棒的方法，该脆性材料棒具有表面和端部，所述方法包括在邻近所述棒的端部的劈割平面中在所述表面中形成起始沟槽，使用起始沟槽而引发棒中的裂隙，驱动刀片整个地通过所述棒以重复地推进所述裂隙通过所述棒并从所述棒形成被劈割的脆性材料片，借助跟随刀片运动的支撑件而支撑所述被劈割的片以防止所述被劈割的片破裂。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，驱动步骤包括以受控的速度驱动刀片通过棒料。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，脆性材料包括晶体材料。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，脆性材料选自硅、砷化镓、锗、硅-锗和蓝宝石组成的组。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，引发步骤包括使刀片与脆性材料棒接触。

6.如权利要求5所述的方法，进一步包括在引发步骤前，沿用于引导所述刀片的一结构支撑件来引导所述刀片。

7.如权利要求6所述的方法，进一步包括，在沿裂隙驱动刀片之前将刀片对准裂隙。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，起始沟槽设置有面对脆性材料棒的端部的竖直表面。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，起始沟槽是具有扩大底部的缺口。

10.如权利要求1所述的方法，进一步包括，沿用于引导所述刀片的一结构支撑件来引导所述刀片，其中结构支撑件的至少一部分延伸到所述槽中以提供基本垂直于棒的表面的引导表面。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，跟随刀片运动的支撑件包括随动件且支撑步骤包括相对于所述棒的端部移动所述随动件。

12.如权利要求1所述的方法，进一步包括，在起始槽中施用腐蚀剂用于破坏脆性材料的拉紧的结合。

13.如权利要求1所述的方法，进一步包括在脆性材料的棒中形成多个起始沟槽且所述引发步骤包括在所述多个起始沟槽中的至少一个中引发裂隙。

14.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述刀片具有用于接合被劈割的片的凹弧形表面，所述跟随刀片运动的支撑件具有用于接合被劈割的片的凸起弧形表面。

15.如权利要求14所述的方法，其特征在于，被劈割的脆性材料的片在权利要求1所述的驱动步骤过程中弯曲。

16.如权利要求14所述的方法，其特征在于，所述刀片的凹弧形表面使得所述被劈割的片在权利要求1所述的驱动步骤过程中弯曲。

17.如权利要求1所述的方法，进一步包括，在裂隙中施用腐蚀剂用于破坏脆性材料的拉紧的结合。

18.如权利要求1所述的方法，其特征在于，起始沟槽为基本上V形且引发步骤包括迫使一对刀片进入V形槽以引发裂隙。

19.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述支撑步骤包括在棒的劈割期间被劈割的片弯曲时以跟随刀片运动的支撑件的凸起弧形表面支撑被劈割的片。