[发明专利]从超高纯度气体中除去金属污染物无效
| 申请号： | 200580024531.3 | 申请日： | 2005-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN1988948A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 小丹尼尔·阿尔瓦雷斯;特洛伊·B.·斯科金斯;湛·端·阮;大屋敷靖 | 申请（专利权）人： | 安格斯公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;C01B3/56;C01B6/34;C01B25/06;C01B33/04;C01B35/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超高 纯度 气体 除去 金属 污染物 | ||
【权利要求书】：
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