[发明专利]具有多微孔区域的抛光垫

权利要求书

1.一种用于化学-机械抛光的抛光垫，其包括包含多孔聚合材料的垫体，该垫体具有至少一个第一区域和与该至少一个第一区域相邻的至少一个第二区域，该垫体包括在所述至少一个第一区域中的具有第一空隙体积的孔及在所述至少一个第二区域中的具有第二空隙体积的孔，其中，所述至少一个第一区域中的孔具有5％～50％的空隙体积，且所述至少一个第二区域中的孔具有20％～80％的空隙体积，并且该至少一个第一区域或该至少一个第二区域包括5％或更多的闭孔，并且其中该第一区域具有50μm或更小的平均孔径，且该第二区域具有1μm至20μm的平均孔径，并且其中：

(a)该第一空隙体积及该第二空隙体积非零，

(b)该第一空隙体积小于该第二空隙体积，

(c)该至少一个第一区域及该至少一个第二区域中的多孔聚合材料具有相同的聚合物组成，且

(d)该垫体在该至少一个第一区域与该至少一个第二区域之间的过渡区不具有结构上明显的边界。

2.权利要求1的抛光垫，其中在该至少一个第一区域或该至少一个第二区域中75％或更多的孔具有的孔径分布为平均孔径的±20μm或更小。

3.权利要求1的抛光垫，其中在该至少一个第一区域或该至少一个第二区域中90％或更多的孔具有的孔径分布为平均孔径的±20μm或更小。

4.权利要求1的抛光垫，其中在该至少一个第一区域中75％或更多的孔具有的孔径分布为平均孔径的±20μm或更小且其中在该至少一个第二区域中50％或更少的孔具有的孔径分布为平均孔径的±20μm或更小。

5.权利要求1的抛光垫，其中该至少一个第一区域或该至少一个第二区域中的孔具有多峰孔径分布，其中该多峰孔径分布具有20个或更少的孔径最大值。

6.权利要求5的抛光垫，其中该多峰孔径分布为双峰孔径分布。

7.权利要求1的抛光垫，其中该至少一个第一区域或该至少一个第二区域具有0.5g/cm³或更大的密度。

8.权利要求1的抛光垫，其中该至少一个第一区域或该至少一个第二区域包括30％或更多的闭孔。

9.权利要求1的抛光垫，其中该至少一个第一区域或该至少一个第二区域具有10⁵微孔/cm³或更大的微孔密度。

10.权利要求1的抛光垫，其中该至少一个第一区域及该至少一个第二区域具有不同的可压缩性。

11.权利要求1的抛光垫，其中该垫体具有第三区域，该第三区域包括具有第三空隙体积的孔。

12.权利要求1的抛光垫，其中该至少一个第一区域包括多个第一区域，并且，该至少一个第二区域包括多个第二区域。

13.权利要求12的抛光垫，其中该第一区域及该第二区域具有不同的可压缩性。

14.权利要求13的抛光垫，其中该第一区域及该第二区域为交替的。

15.权利要求14的抛光垫，其中该第一区域及该第二区域为交替的线或同心圆形式。

16.权利要求1的抛光垫，其中该至少一个第一区域及该至少一个第二区域中的多孔聚合材料包括选自以下的聚合物树脂：热塑性弹性体、聚烯烃、聚碳酸酯、聚乙烯醇、尼龙、弹性体橡胶、聚芳族化合物、氟聚合物、聚酰亚胺、交联聚氨酯、聚醚、聚酯、聚丙烯酸酯、其共聚物、及其混合物。

17.权利要求16的抛光垫，其中所述聚芳族化合物选自聚亚芳基和苯乙烯类聚合物。

18.权利要求17的抛光垫，其中所述苯乙烯类聚合物为聚苯乙烯。

19.权利要求16的抛光垫，其中所述热塑性弹性体为弹性体聚乙烯。

20.权利要求16的抛光垫，其中所述氟聚合物为聚四氟乙烯。

21.权利要求16的抛光垫，其中所述聚酯为聚对苯二甲酸乙二醇酯。

22.权利要求16的抛光垫，其中所述尼龙为聚芳酰胺。

23.权利要求16的抛光垫，其中所述聚丙烯酸酯为聚甲基丙烯酸甲酯。