[发明专利]周期表第13族金属氮化物结晶的制造方法以及使用其的半导体器件的制造方法有效
| 申请号： | 200580029397.6 | 申请日： | 2005-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN101010453A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 有田阳二;关义则;田原岳史;佐藤让 | 申请（专利权）人： | 三菱化学株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B9/14;H01L33/00;H01S5/323 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 周期表 13 金属 氮化物 结晶 制造 方法 以及 使用 半导体器件 | ||
【说明书】：
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