[发明专利]质量流量计和控制器的热传感器的姿态误差自校正有效
| 申请号： | 200580031085.9 | 申请日： | 2005-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN101048643A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·拉巴锡;马克·J·夸拉蒂耶洛;罗纳德·H·布莱 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 质量 流量计 控制器 传感器 姿态 误差 校正 | ||
【说明书】：
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