[发明专利]利用激光衍射图校准部件的微孔的方法及利用该方法的系统

权利要求书

1.一种用于校准多个部件的孔的方法，该方法包括以下步骤：

将所述多个部件中的具有一个以上的孔的以下称为“第一部件”的一个部件固定在第一台上，从而使至少一个激光器的光束能穿过所述孔；

将所述激光束聚焦在所述第一部件的所述孔上；

利用所述激光束对所述第一部件的所述孔进行一次校准，从而使聚焦的激光束能穿过所述第一部件的所述孔，以根据所述第一部件的所述孔的形状在屏幕或图像传感器上产生第一精确衍射图，所述屏幕或图像传感器与所述第一部件隔开预定距离；以及

将所述多个部件中的具有一个以上的孔的以下称为“第二部件”的另一部件布置在所述第一部件的上方或下方，并利用第二台通过所述激光束对所述第二部件的所述孔进行二次校准，从而使所述激光束能穿过所述第二部件的所述孔，以根据所述第二部件的所述孔的形状在所述屏幕上产生第二精确衍射图。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述二次校准步骤之后，通过重复与所述二次校准步骤相同的步骤并重复与待另外校准的其它部件的数量相同的次数而校准所述其它部件。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第一部件和第二部件中的每一个的至少两个孔通过重复所述步骤或同时被校准。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，通过利用至少一个激光束检测器分析所述屏幕上的衍射图的形状校准来确定部件的所述孔的校准。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，该方法还包括以下步骤：利用电荷耦合装置、监视器和记录器感测并记录所述第一部件的所述第一衍射图，并将除了所述第一部件之外的所述多个部件的其它衍射图与先前记录的所述第一部件的衍射图进行比较。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，该方法还包括以下步骤：将所述激光器与所述多个部件中的每一部件之间的距离预设为预定距离，并根据各个衍射图的干涉条纹的位置检验各个校准部件的孔的尺寸。

7.一种用于校准多个部件的方法，所述多个部件中的每一部件均形成有至少一个基准孔，该方法的特征在于，通过根据权利要求1至6中任一项所述的方法校准所述多个部件。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述基准孔为两个。

9.一种用于校准多个部件的孔的系统，该系统包括：

至少一个激光器；

至少一个聚焦透镜，所述聚焦透镜用于将从所述激光器发射并分光的光束聚焦；

第一台，该第一台用于可调整地固定所述多个部件中的以下称为“第一部件”的一个部件，从而使被所述聚焦透镜聚焦的激光束穿过所述第一部件的用于校准的孔；

第二台，该第二台用于可调整地固定所述多个部件中的以下称为“第二部件”的另一部件，从而使穿过所述第一部件的所述孔的激光束穿过所述第二部件的用于校准的孔；以及

至少一个屏幕或图像传感器，穿过所述第二部件的所述孔的激光束投射在所述屏幕或图像传感器上。

10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，该系统还包括：

至少一个分光器，所述分光器用于按照所述多个部件中每个部件的孔的数量对从所述激光器发出的光束进行分光，并且所述聚焦透镜用于按照分光光束的数量将由所述分光器分光的光束聚焦，

其中，所述第一台和所述第二台被调整为允许所述分光光束穿过用于校准的孔。

11.根据权利要求9或10所述的系统，其特征在于，该系统还包括数量与需要校准的部件对应的所述台，其中三个或更多个部件的所述孔被校准。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的系统，其特征在于，所述图像传感器用作激光束检测器，以通过分析所述衍射图的形状来确定部件的所述孔的校准。