[发明专利]用于引线接合机接合头的运动控制装置

权利要求书

1.一种用于控制旋转运动和线性运动的运动控制装置，所述运动控制装置包括：

第一线性致动器，具有第一固定元件和第一可移动的驱动元件，第一可移动的驱动元件被驱动用于相对于第一固定元件沿着第一纵向轴线运动；

第二线性致动器，具有第二固定元件和第二可移动的驱动元件，第二可移动的驱动元件被驱动用于相对于第二固定元件沿着第二纵向轴线移动；和

驱动组件，驱动组件被构造成被第一可移动的驱动元件和第二可移动的驱动元件驱动，用于：(a)沿着第一轴线线性运动，所述第一轴线基本平行于第一纵向轴线和第二纵向轴线，和(b)围绕旋转轴线旋转，

第一可移动的驱动元件和第二可移动的驱动元件中的每一个的位置被单独地控制以控制驱动组件的旋转位置和线性位置。

2.如权利要求1所述的运动控制装置，其特征在于：所述旋转轴线基本垂直于第一轴线。

3.如权利要求1所述的运动控制装置，其特征在于：驱动组件还包括平台元件，所述平台元件与第一和第二固定元件滑动地连接。

4.如权利要求1所述的运动控制装置，其特征在于：第一和第二线性致动器包括各自的音圈电动机。

5.如权利要求1所述的运动控制装置，其特征在于：第一和第二线性致动器包括各自的线性伺服电动机，并且第一和第二可移动的驱动元件通过连杆可操作地联结到驱动组件。

6.如权利要求1所述的运动控制装置，其特征在于：第一和第二线性致动器包括各自的线性伺服电动机，并且第一和第二可移动的驱动元件通过齿条和小齿轮系统可操作地联结到驱动组件。

7.如权利要求1所述的运动控制装置，其特征在于：驱动组件的质量相对于旋转轴线基本平衡。

8.如权利要求1所述的运动控制装置，其特征在于：其被构造成用于与引线接合机连接。

9.如权利要求8所述的运动控制装置，其特征在于：驱动组件与包括接合工具的引线接合头组件连接。

10.如权利要求8所述的运动控制装置，其特征在于：引线接合机还包括：

工作台，用于支撑将被引线接合的至少一个半导体装置；和

输送系统，用于使工作台沿着基本水平的方向并且基本垂直于第一轴线移动。

11.如权利要求10所述的运动控制装置，其特征在于：还包括第二工作台和第二输送系统，第二工作台用于支撑将被引线接合的第二半导体装置，第二输送系统用于使第二工作台沿着基本水平的方向并且基本垂直于第一轴线移动。

12.如权利要求10所述的运动控制装置，其特征在于：还包括摄像机，所述摄像机朝着工作台，用于接收工作台的或者至少一个半导体装置的图像。

13.一种引线接合机，包括：

工作台，用于支撑将被引线接合的至少一个半导体装置；

输送系统，用于使工作台沿着基本水平的方向移动；

引线接合头组件，包括接合工具；和

运动控制装置，用于控制引线接合头组件的旋转运动和线性运动，所述运动控制装置包括：

(a)第一线性致动器，具有第一固定元件和第一可移动的驱动元件，第一可移动的驱动元件被驱动用于相对于第一固定元件沿着第一纵向轴线运动；

(b)第二线性致动器，具有第二固定元件和第二可移动的驱动元件，第二可移动的驱动元件被驱动用于相对于第二固定元件沿着第二纵向轴线移动；和

(c)驱动组件，驱动组件被构造成被第一可移动的驱动元件和第二可移动的驱动元件驱动，用于：(1)沿着第一轴线线性运动，所述第一轴线基本平行于第一纵向轴线和第二纵向轴线，和(2)围绕旋转轴线旋转，

第一可移动的驱动元件和第二可移动的驱动元件中的每一个的位置被单独地控制以控制驱动组件的旋转位置和线性位置。

14.如权利要求13所述的引线接合机，其特征在于：旋转轴线基本垂直于第一轴线。

15.如权利要求13所述的引线接合机，其特征在于：驱动组件还包括平台元件，所述平台元件与第一和第二固定元件滑动地连接。