[发明专利]等离子加工设备有效
| 申请号： | 200580031890.1 | 申请日： | 2005-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN101023713A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 武内稔公;中岛节男;斋藤直道;西川理 | 申请（专利权）人： | 积水化学工业株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H01L21/3065;C23C16/50 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子 加工 设备 | ||
【权利要求书】：
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