[发明专利]用于测量导电薄片材料中迁移率和薄层电荷密度的装置和处理系统有效
申请号: | 200580032281.8 | 申请日: | 2005-08-10 |
公开(公告)号: | CN101044409A | 公开(公告)日: | 2007-09-26 |
发明(设计)人: | 奥斯汀·R·布卢;迈克尔·W·布龙科;史蒂文·C·墨菲;丹·恩古延;尼古拉·埃伯哈特;杰尔姆·C·利西尼;威廉·祖德弗利特 | 申请(专利权)人: | 美商立海顿电子公司 |
主分类号: | G01R27/04 | 分类号: | G01R27/04;G01R27/32 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 美国宾夕*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 测量 导电 薄片 材料 迁移率 薄层 电荷 密度 装置 处理 系统 | ||
【权利要求书】:
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